@misc{oai:repo.qst.go.jp:00073007, author = {千葉, 陽史 and 山崎, 雄一 and 牧野, 高紘 and 佐藤, 真一郎 and 山田, 尚人 and 佐藤, 隆博 and 加田, 渉 and 児島, 一聡 and 土方, 泰斗 and 大島, 武 and 千葉 陽史 and 山崎 雄一 and 牧野 高紘 and 佐藤 真一郎 and 山田 尚人 and 佐藤 隆博 and 加田 渉 and 大島 武}, month = {Nov}, note = {SiC p+pn+ダイオード中に、プロトンビーム描画(PBW)を用いてシリコン空孔(VSi)を形成した。VSiからのフォトルミネッセンスを観測するとともに、量子センシングの基本操作である光検出磁気共鳴(ODMR)測定を行い、信号の磁場強度依存性を確認した。これらの結果は、電流駆動型デバイス内蔵量子センサの動作実証へ向けて、スピン操作可能なVSiをデバイス中に形成できたことを示している。, 先進パワー半導体分科会 第5回講演会}, title = {プロトンビーム描画により形成されたSiC pnダイオード中シリコン空孔のODMR測定}, year = {2018} }