@misc{oai:repo.qst.go.jp:00066895,
 author = {大久保, 猛 and 石井, 保行 and 大久保 猛 and 石井 保行},
 month = {Sep},
 note = {工場の生産現場や大学の実験室等への普及を目指して小型イオンマイクロビーム装置のプロトタイプを開発している。この装置で、これまでに120keV水素正イオンビームで1.8μm径を達成した。マイクロビーム利用でのさらなる高分解能化のためにサブミクロンビームの形成を可能にするには、イオン温度が低く色収差を小さく抑えることができる負イオンビームの利用が有利である。一方で、一般的に正イオンと比べて負イオンのビーム電流は小さいという問題がある。本装置搭載のデュオプラズマトロンイオン源では、プラズマの中心軸の少し外側付近に比較的多くの負イオンが存在していると予想された。そこで、イオン源からのビーム引き出し穴の位置とプラズマ中心軸を偏心させて負イオンビーム発生を行った。その結果、偏心前と比べて最大6倍程度ビーム電流が増大した。, 日本原子力学会2018年秋の大会},
 title = {小型イオンマイクロビーム装置における負イオン発生技術の現状報告},
 year = {2018}
}