@misc{oai:repo.qst.go.jp:00066300,
 author = {佐々木, 明 and 佐々木明 and 砂原淳 and 西原功修 and 西川亘 and 佐々木 明},
 month = {Mar},
 note = {レーザー生成プラズマを用いた次世代半導体リソグラフィ用EUV光源において、Sn液滴ターゲットを短パルスのプリパルスレーザー照射によってSn微粒子が生成する過程を扱う流体シミュレーションコードの開発について報告した。メッシュの動的再配置によって、気相と液相の物質が共存する状態のダイナミクスを扱えるようにしたモデルで、加熱された液滴が沸騰する過程のテスト計算を行った。, 応用物理学会春季学術講演会},
 title = {EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションによる粒子発生},
 year = {2017}
}