@misc{oai:repo.qst.go.jp:00065934,
 author = {小池, 雅人 and 寺内正己 and 高橋秀之 and 小池 雅人},
 month = {May},
 note = {電子顕微鏡を用いた元素分析、構造解析、状態分析などの目的でエネ ルギー分散形分光器（EDS）、波長分散形分光器（WDS）など多くの分光器 が開発されてきた。しかしながら、リチウム等の軽元素の分析に必要な軟 X線領域において実用的な電子顕微鏡用分光器は存在しなかった。そこで、不等間隔溝収差補正型回折格子と高感度Ｘ線CCDカメラを組み合わせることにより、高エネルギー分解能を実現する電子顕微鏡用軟Ｘ線分光器システムを開発した。この装置の特長はEDS同様にパラレル検出可能で、かつWDSが持つエネルギー分解能を超える0.3eV (Fermi端 Al-L基準) の高エネルギー分解能分析が 50eV～4keVの広いエネルギー領域で可能である等である。この分光器システムでは回折格子や検出器（CCD）を動かさずに広いエネルギー領域のスペ クトルを同時に測定できる。しかも高エネルギー分解能であるので、状態分析マップの収集が可能である。この装置のボロンを含む核燃料デブリ分析、リチウムイオン電池開発、先端合金開発等への応用について紹介する。, 平成 28年度日本分光学会国際シンポジウム・年次講演会},
 title = {電子顕微鏡用軟 X線分光器の開発と実用化},
 year = {2016}
}