@misc{oai:repo.qst.go.jp:00064221, author = {海部, 俊介 and 森, 豊 and 山内, 知也 and 小田, 啓二 and 小西, 輝昭 and 安田, 仲宏 and 小西 輝昭 and 安田 仲宏}, month = {Sep}, note = {第71回応用物理学会学術講演会}, title = {重イオンを照射したポリイミド薄膜の赤外分光分析}, year = {2010} }