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  1. 学会発表・講演等
  2. 口頭発表

軟X線多層膜回折格子を用いた300~1100 eV域において高spectral fluxを呈する平面結像型回折格子分光器の開発

https://repo.qst.go.jp/records/2002347
https://repo.qst.go.jp/records/2002347
4ee78b77-4562-4d06-94d4-f5c4af9c9807
アイテムタイプ 会議発表用資料 / Presentation(1)
公開日 2025-12-19
タイトル
タイトル 軟X線多層膜回折格子を用いた300~1100 eV域において高spectral fluxを呈する平面結像型回折格子分光器の開発
言語 ja
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f
資源タイプ conference presentation
著者 小池 雅人

× 小池 雅人

小池 雅人

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羽多野 忠

× 羽多野 忠

羽多野 忠

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ピロジコフ アレキサンダー

× ピロジコフ アレキサンダー

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村野 孝訓

× 村野 孝訓

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越谷 翔悟

× 越谷 翔悟

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寺内 正己

× 寺内 正己

寺内 正己

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抄録
内容記述 軟X線平面結像型発光分光器の高分析感度を実現するためには,spectral flux と呼ばれる回折効率と光源から検出器に到達する光束の積で表される量を増加させる必要がある。このため,300~1100 eV領域を測定対象とするラミナー型の格子溝を持つの回折格子の表面にW/B4C多層膜構造した球面回折格子を設計製作し,回折効率を測定したので報告する.設計では刻線密度1/σを3600 本/mmと仮定した。最適化計算の結果,入射角 αは86.70°となった。この多層膜回折格子とほぼ同じエネルギー領域を対象に過去に設計した回折格子(1/σ︓2400本/mm, 表面︓Au,α: 88.65° )の場合の計算による比較では、今回設計した多層膜回折格子のspectral fluxは、平均で約5倍増加していることが判った。発表ではKEK放射光実験施設(PF)の反射率測定ビームラインBL-12Aでの多層膜回折格子の絶対回折効率の測定についても述べる。
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等)
内容記述 第39回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
発表年月日
日付 2026-01-08
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Ver.1 2026-01-19 00:21:54.218264
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