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  1. 原著論文

Design of soft X-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2?4 keV

https://repo.qst.go.jp/records/2000567
https://repo.qst.go.jp/records/2000567
f4894cde-c52f-48a0-8a94-75896a2b6ba6
アイテムタイプ 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2024-08-08
タイトル
タイトル Design of soft X-ray laminar-type gratings coated with supermirror-type multilayer to enhance diffraction efficiency in a region of 2?4 keV
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 小池 雅人

× 小池 雅人

小池 雅人

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羽多野 忠

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上野 良弘

× 上野 良弘

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寺内 正己

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寺内 正己

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Soft X-ray diffraction gratings coated with supermirror-type multilayer was designed to enhance diffraction efficiency in an energy range of 2?4 keV by means of numerical calculation. Optimized groove depth and incidence angle are 2.05 nm and 88.65?, respectively, for the grating having a groove density of 3,200 grooves/mm. Regarding the multilayer structure, the optimum number of B4C/W layers pair was 11 and the thickness of B4C was increased from bottom to top while that of W was kept a constant value. The replacement of the top layer of W by either Co, Cr, or Ni was effective means to obtain uniform diffraction efficiency. In the region of 2?4 keV, the calculated diffraction efficiency of the designed gratings was up to ca. 5.3 % on average and almost eight times larger than that of ca. 0.7 % of an Au coated grating.
書誌情報 Rev. Sci. Insitrum.

巻 94, 号 4, p. 045109-1-045109-5, 発行日 2023-04
出版者
出版者 AIP Publishing
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0034-6748
DOI
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.1063/5.0148908
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Ver.1 2025-08-15 02:23:56.330306
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