WEKO3
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PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価
https://repo.qst.go.jp/records/65933
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Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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公開日 | 2016-07-28 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_c94f | |||||
資源タイプ | conference object | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
羽多野, 忠
× 羽多野, 忠× 小池, 雅人× 浮田, 龍一× 笹井, 浩行× 小池 雅人 |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 極端紫外・軟X線領域の光学素子評価ビームライン(PF BL-11D)で軟X線ラミナーレプリカ回折格子 (Niコート)の回折効率評価実験を行った。回折格子の刻線密度は1200本/mmである。入射角が設計値の87.07°となるように回折格子を固定し,検出器を回転駆動して0~4次の回折光を検出した。波長10 nm と波長5nmでの回折効率の比較により波長10 nm における2次光の混入率を求めることができ,0.55%という十分低い値を得た。同様にしてB-K発光の波長6.76nmにて2.88%を得た。多層膜ミラー反射率計測により波長4.4nmにおける2次光混入率が8%ということもわかっている[羽多野他,第75回応用物理学会秋季学術講演会19p-A13-12(2014)]。これらの情報を用いて実測値を分光器2次光の影響を除去した値に換算した。その値は計算値より0.01低く,~1nmの表面粗さを考慮するとよく一致した。次に波長6.76nmの回折効率の入射角依存性を調べた。その結果低入射角側の82.9°で回折効率が最大になり、この場合分光器としての感度は従来設計に比較して3倍近い向上が期待できることが判った。 | |||||
会議概要(会議名, 開催地, 会期, 主催者等) | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 第77回応用物理学会秋季学術講演会 | |||||
発表年月日 | ||||||
日付 | 2016-09-13 | |||||
日付タイプ | Issued |