WEKO3
アイテム
{"_buckets": {"deposit": "dd397f2d-5a1e-4cdc-b879-820169a3e3f6"}, "_deposit": {"created_by": 1, "id": "58915", "owners": [1], "pid": {"revision_id": 0, "type": "depid", "value": "58915"}, "status": "published"}, "_oai": {"id": "oai:repo.qst.go.jp:00058915", "sets": ["11"]}, "author_link": ["586972", "586973"], "item_10004_biblio_info_7": {"attribute_name": "書誌情報", "attribute_value_mlt": [{"bibliographicIssueDates": {"bibliographicIssueDate": "2018-12", "bibliographicIssueDateType": "Issued"}, "bibliographicPageEnd": "6", "bibliographicPageStart": "3", "bibliographicVolumeNumber": "111", "bibliographic_titles": [{"bibliographic_title": "RadTech Japan NEWS LETTER"}]}]}, "item_10004_description_5": {"attribute_name": "抄録", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "RadTech Japna NEWS LETTERの「新技術紹介」コーナーにおいて、量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成を紹介した。従来の光リソグラフィでは短波長化の限界のため、極端紫外光(EUV)のような量子ビームが次期露光源として有望視されている。その露光源のシフトに伴って、革新的な材料・プロセスの研究・開発が求められている。本稿では、還元剤を使用することなく、金属イオンを含有したポリマー薄膜に電子ビーム照射後、加熱するだけで金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成について紹介した。", "subitem_description_type": "Abstract"}]}, "item_access_right": {"attribute_name": "アクセス権", "attribute_value_mlt": [{"subitem_access_right": "metadata only access", "subitem_access_right_uri": "http://purl.org/coar/access_right/c_14cb"}]}, "item_creator": {"attribute_name": "著者", "attribute_type": "creator", "attribute_value_mlt": [{"creatorNames": [{"creatorName": "山本, 洋揮"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "586972", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "山本 洋揮", "creatorNameLang": "en"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "586973", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}]}, "item_language": {"attribute_name": "言語", "attribute_value_mlt": [{"subitem_language": "jpn"}]}, "item_resource_type": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"resourcetype": "article", "resourceuri": "http://purl.org/coar/resource_type/c_6501"}]}, "item_title": "量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成", "item_titles": {"attribute_name": "タイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_title": "量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成"}]}, "item_type_id": "10004", "owner": "1", "path": ["11"], "permalink_uri": "https://repo.qst.go.jp/records/58915", "pubdate": {"attribute_name": "公開日", "attribute_value": "2018-12-14"}, "publish_date": "2018-12-14", "publish_status": "0", "recid": "58915", "relation": {}, "relation_version_is_last": true, "title": ["量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成"], "weko_shared_id": -1}
量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成
https://repo.qst.go.jp/records/58915
https://repo.qst.go.jp/records/58915b87ae368-21c2-4aac-98a1-c6d2b6cc1dad
Item type | 一般雑誌記事 / Article(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2018-12-14 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
山本, 洋揮
× 山本, 洋揮× 山本 洋揮 |
|||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | RadTech Japna NEWS LETTERの「新技術紹介」コーナーにおいて、量子ビームによる金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成を紹介した。従来の光リソグラフィでは短波長化の限界のため、極端紫外光(EUV)のような量子ビームが次期露光源として有望視されている。その露光源のシフトに伴って、革新的な材料・プロセスの研究・開発が求められている。本稿では、還元剤を使用することなく、金属イオンを含有したポリマー薄膜に電子ビーム照射後、加熱するだけで金属ナノ粒子を含有した微細パターンの直接形成について紹介した。 | |||||
書誌情報 |
RadTech Japan NEWS LETTER 巻 111, p. 3-6, 発行日 2018-12 |