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アイテム
軟Ｘ線レーザーによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観察
https://repo.qst.go.jp/records/49523
https://repo.qst.go.jp/records/495232e221adb-a9e1-492a-aba5-22f719a1931d
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2019-01-17 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 軟Ｘ線レーザーによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観察 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
長谷川, 登
× 長谷川, 登× 錦野, 将元× Hasegawa, Noboru× Nishikino, Masaharu |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | フェムト秒レーザーアブレーションでは、固体中の電子と格子の衝突によるエネルギーの拡散時間よりもパルス幅が十分に短いため熱的な影響が従来の加工手法と比較して著しく小さくできる特徴がある。特にアブレーション閾値近傍では、表面を層状に剥離させるspallation（破砕）と呼ばれる特殊な現象がシミュレーションから予測されており、新たな微細加工手法として期待されているが、現象そのものが高速かつ微細であるため、ダイナミクスの実験的な理解は未だ十分ではない。物質の表面状態の時間空間分解観測に適した波長13.9 nm(89 eV)の軟Ｘ線レーザーをプローブ光源とすることで、膨張する金属表面（ablation Front: AF）及びSpallationにより乖離した層（spallation shell: SS）をピコ秒からナノ秒に掛けて観測を行い、アブレーションによりクレーターが形成されるまでの描像を明らかにした。時間分解計測によりシミュレーションとの直接的な比較が可能となったことで、将来的な加工シミュレーターの開発に繋がることが期待できる。 | |||||
| 書誌情報 |
J. Plasma Fusion Res. 巻 94, 号 5, p. 261-265, 発行日 2018-05 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | プラズマ・核融合学会 | |||||
| 関連サイト | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2018.../9405SPall.pdf | |||||
