WEKO3
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{"_buckets": {"deposit": "c2c5e245-36a8-4988-b1fa-5619c063dc7e"}, "_deposit": {"created_by": 1, "id": "73414", "owners": [1], "pid": {"revision_id": 0, "type": "depid", "value": "73414"}, "status": "published"}, "_oai": {"id": "oai:repo.qst.go.jp:00073414", "sets": ["1"]}, "author_link": ["744863", "744866", "744861", "744864", "744862", "744865"], "item_8_biblio_info_7": {"attribute_name": "書誌情報", "attribute_value_mlt": [{"bibliographicIssueDates": {"bibliographicIssueDate": "2019-01", "bibliographicIssueDateType": "Issued"}, "bibliographicPageEnd": "060050-5", "bibliographicPageStart": "060050-1", "bibliographicVolumeNumber": "2054", "bibliographic_titles": [{"bibliographic_title": "The American Institute of Physics (AIP) Conference Proceedings"}]}]}, "item_8_description_5": {"attribute_name": "抄録", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "波長13.9 nmのX線レーザー(XRL)で使用する回折格子ビーム強度モニタの高効率化のために、モリブデン薄膜を金コート回折格子に積層した。放射光を用いた回折効率測定によってMoコーティングによる高効率化を確認した。また、XRLで測定した0次と1次の回折光強度間に強い相関を認めた。ビーム強度モニタの実用性はMo回折格子から供給されたXRLビームを用いた軟X線エリプソメトリによって実証された。", "subitem_description_type": "Abstract"}]}, "item_8_publisher_8": {"attribute_name": "出版者", "attribute_value_mlt": [{"subitem_publisher": "AIP Publishing"}]}, "item_8_relation_14": {"attribute_name": "DOI", "attribute_value_mlt": [{"subitem_relation_type_id": {"subitem_relation_type_id_text": "10.1063/1.5084681", "subitem_relation_type_select": "DOI"}}]}, "item_8_relation_17": {"attribute_name": "関連サイト", "attribute_value_mlt": [{"subitem_relation_type_id": {"subitem_relation_type_id_text": "https://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.5084681", "subitem_relation_type_select": "URI"}}]}, "item_access_right": {"attribute_name": "アクセス権", "attribute_value_mlt": [{"subitem_access_right": "metadata only access", "subitem_access_right_uri": "http://purl.org/coar/access_right/c_14cb"}]}, "item_creator": {"attribute_name": "著者", "attribute_type": "creator", "attribute_value_mlt": [{"creatorNames": [{"creatorName": "今園, 孝志"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744861", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "西原弘晃"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744862", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "浮田龍一"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744863", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "笹井浩行"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744864", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "長野哲也"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744865", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}, {"creatorNames": [{"creatorName": "Imazono, Takashi", "creatorNameLang": "en"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "744866", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}]}]}, "item_language": {"attribute_name": "言語", "attribute_value_mlt": [{"subitem_language": "eng"}]}, "item_resource_type": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"resourcetype": "journal article", "resourceuri": "http://purl.org/coar/resource_type/c_6501"}]}, "item_title": "Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser", "item_titles": {"attribute_name": "タイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_title": "Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser"}]}, "item_type_id": "8", "owner": "1", "path": ["1"], "permalink_uri": "https://repo.qst.go.jp/records/73414", "pubdate": {"attribute_name": "公開日", "attribute_value": "2019-02-14"}, "publish_date": "2019-02-14", "publish_status": "0", "recid": "73414", "relation": {}, "relation_version_is_last": true, "title": ["Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser"], "weko_shared_id": -1}
Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser
https://repo.qst.go.jp/records/73414
https://repo.qst.go.jp/records/734144084e75c-34ee-41ab-ba97-5592da916ee4
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2019-02-14 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Mo-overcoated grating-based beam intensity monitor for 13.9 nm X-ray laser | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | journal article | |||||
アクセス権 | ||||||
アクセス権 | metadata only access | |||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
著者 |
今園, 孝志
× 今園, 孝志× 西原弘晃× 浮田龍一× 笹井浩行× 長野哲也× Imazono, Takashi |
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抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 波長13.9 nmのX線レーザー(XRL)で使用する回折格子ビーム強度モニタの高効率化のために、モリブデン薄膜を金コート回折格子に積層した。放射光を用いた回折効率測定によってMoコーティングによる高効率化を確認した。また、XRLで測定した0次と1次の回折光強度間に強い相関を認めた。ビーム強度モニタの実用性はMo回折格子から供給されたXRLビームを用いた軟X線エリプソメトリによって実証された。 | |||||
書誌情報 |
The American Institute of Physics (AIP) Conference Proceedings 巻 2054, p. 060050-1-060050-5, 発行日 2019-01 |
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出版者 | ||||||
出版者 | AIP Publishing | |||||
DOI | ||||||
識別子タイプ | DOI | |||||
関連識別子 | 10.1063/1.5084681 | |||||
関連サイト | ||||||
識別子タイプ | URI | |||||
関連識別子 | https://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.5084681 |